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白光干涉儀3D形貌測量之美

發布時間:2022-12-28      點擊次數:153

白光干涉儀能測什么?有著“納米眼"之稱的白光干涉儀,是一款在縱向分辨率上可實現0.1nm的分辨率和測量可靠性的光學測量儀器。下面就讓我們一起來領略下國產白光干涉儀鏡頭下的3D顯微之美。


圖片1.jpg

SuperViewW1白光干涉儀


白光干涉儀采用的光學輪廓測量法可以非接觸式測量非平坦樣品,輕松測量出彎曲和其他非平面表面,還可以測出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等,同時不會像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。


白光干涉儀3D形貌圖片:

圖1.超光滑_納米級表面

圖2.分成了32階的納米級微納光學元件

圖3.半導體芯片表面外觀

圖4.微納凹凸圓表面

圖5.拼接_摩擦磨損工藝零部件

圖6.拼接_大區域超光滑凹球面

圖7.光學衍射元器件


除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。非接觸高精密光學測量方式,不會劃傷甚至破壞工件,不僅能進行更高精度測量,在整個測量過程還不會觸碰到表面影響光潔度,能保留完整的晶圓片表面形貌。測量工序效率高,直接在屏幕上了解當前晶圓翹曲度、平面度、平整度的數據。


圖片10.jpg

硅晶圓粗糙度測量

圖片11.jpg

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測


白光干涉儀所具有技術競爭力在于接觸式和光學三維輪廓儀的結合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究,也可以用于工業產品的檢測。


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